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「ブロア」のブログ記事
09.08.20 17:56
吸着搬送装置の吸着部
吸着搬送装置の吸着部【発明の名称】 特開平１０−４１０４【公開番号】 大日本印刷株式会社【出願人】 【課題】 吸着搬送装置において、吸着効率の良い吸着部を提供する。 【解決手段】 吸着部内上部に共通チャンバ１を設け、吸着部内下部に、水平方向に複数に仕切...
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